SAT 2000 遠(yuǎn)程等離子清洗機(jī)（Plasma）

一、應(yīng)用領(lǐng)域

 電鏡腔體內(nèi)，存儲(chǔ)樣品的真空倉(cāng)，對(duì)腔體內(nèi)部以及內(nèi)部存儲(chǔ)的樣品進(jìn)行清潔或者樣品表面改性。

 二、實(shí)驗(yàn)應(yīng)用

 主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)的清洗以及一些存儲(chǔ)樣品的特殊真空倉(cāng)內(nèi)部和內(nèi)部的樣品進(jìn)行原位清潔。

 三、設(shè)備原理

采用遠(yuǎn)程等離子清洗源，對(duì)電鏡腔體內(nèi)部以及一些存儲(chǔ)樣品的特殊真空倉(cāng)內(nèi)部和內(nèi)部的樣品進(jìn)行原位清潔，清潔快速高效.

四、技術(shù)特點(diǎn)

遠(yuǎn)程等離子源、清潔快速高效、原位清潔、可以連接不同規(guī)格的真空室.

五、技術(shù)規(guī)格

1. 7寸全彩觸摸屏智能程序化操控方式，人機(jī)互動(dòng)界面。

2.手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式，可根據(jù)客戶需求任意切換，自動(dòng)工作模式下可編程，自動(dòng)完成整個(gè)清洗過(guò)程。

*3.雙等離子體清洗源，原位等離子源和遠(yuǎn)程等離子源。

*4.原位清洗，直接和SEM或FIB等電鏡法蘭連接清洗。

*5.13.56MHz射頻RF電源。

*6.射頻功率5-150W無(wú)極可調(diào)（根據(jù)實(shí)驗(yàn)真空倉(cāng)的大小可以選擇500W、1000W電源，適配真空倉(cāng)，來(lái)保證離子激發(fā)充分）.

*7.遠(yuǎn)程等離子源，自動(dòng)匹配器。

8.時(shí)間設(shè)定0-99分59秒。

9.氣體穩(wěn)定時(shí)間1分鐘。

11.遠(yuǎn)程離子源法蘭接口KF40（或者可以根據(jù)真空倉(cāng)接口定制）。

12.工作氣壓0.3-3Pa。

12.工作氣體：氧氣、氮?dú)?、氬氣等惰性氣體，也可以直接通入空氣。

13.標(biāo)配單路質(zhì)量流量計(jì)（MFC)可選雙路。0一500S，自動(dòng)控制氣體流量，不會(huì)受環(huán)境溫度和壓力變化影響

14.美國(guó)MKS數(shù)字真空流量計(jì)和電磁截止閥安全互鎖。

15.艙體、管路、閥體全部采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)。

16.風(fēng)冷方式。

17.電源220V，50/60Hz。

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